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白光干涉儀(White-light interferometry)
與彩色共焦技術(Chromatic Confocal Technology)
白光干涉儀是三維表面形貌檢測量測儀,為具有高精度與可靠性應用於表面功能檢測的理想量測解決方案。
TopMap表面計量系統可用於量測三維輪廓,分析評估例如階高、波度、平坦度與平行度等形狀參數。
以及研究實驗室、生產線附近與生產線內所有環境中的粗糙度與微結構。
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